El estado de plasma, su generación y su utilización para el
tratamientos superficiales.
Introducción.
La generación de radio frecuencia, su transmisión, su
medición y la creación del estado plasma para su uso en la industria, como por
ejemplo en el tratamiento de superficies semiconductoras, es el tema de este
documento.
El oscilador, puede ser construido con una válvula tríodo y
un circuito resonante de una frecuencia de 13 a 70 MHz , un ejemplo de dicho
sistema es el construido por la firma Branson de 500 watts de potencia y que funciona a una frecuencia de 13.56 MHz, el
siguiente dibujo representa en forma muy esquemática su construcción.
Sistema experimental.
Para realizar un experimento que demuestre la generación de plasma se utiliza un tubo de los usados en química y se lo introduce a presión en un caño de goma, dicho caño se conecta a una bomba mecánica de vació, como la mostrada en la siguiente foto,
Las bombas mecánicas se usan en sistemas de vacío, con un rango desde la presión atmosférica, hasta una presión baja (~100 mTorr),
Enlaces.
